產品名稱：碳化硅真空燒結爐 真空保護氣氛爐 半導體真空爐

一．概述

碳化硅真空燒結爐 真空保護氣氛爐 半導體真空爐，主要以抽完真空后通入保護氣氛進行高溫處理的設備，以抽真空形式快速把爐內空氣置換，以減少爐內氧含量，并節省保護氣。本爐主要適用于小批量生產，利用人工把產品放入爐腔內燒結之用，具有 使用靈活性高等優點。

二、主要參數

型    號：BXZQ-54-16

爐膽材質：高純陶瓷纖維

燒結時間：可根據產品工藝可調節

使用氣氛：氮氣、氬氣（正壓＜0.04Mpa下使用）

使用方法：預抽真空后通入氣體保護燒結

額定功率：≈54KW（實際功率由儀表根據熱損耗自動控制調節）

電    壓：380V

額定溫度：1600℃

使用溫度：≤1500℃（可調）

控制精度：±1℃（恒溫狀態下）

保溫材料：保溫材料采用氧化鋁陶瓷纖維板，納米保溫材料

溫控儀表：智能PID調節，30段可編程式控溫曲線（全自動升、降、保溫）

分度號：采用B分度熱電偶

三、加熱

加熱溫區：1個溫度區域

溫區控制：單獨控制溫度

加熱元件：硅鉬棒

加熱方式：側面加熱

注：碳化硅真空燒結爐 真空保護氣氛爐 半導體真空爐等其他型號規格可以根據用戶實際需求設計，價格僅參考，歡迎咨詢詳談：0510-87195028 18888033558 吳經理。